研究员,硕士生导师。2007年北京理工大学获精密仪器及机械博士学位,2007~2009年北京理工大学宇航学院博士后流动站。2009年中国科学院光电研究院光电系统工程部,副研究员。2013年任中国科学院光电研究院投影光学研究室副主任,副研究员。2014年12月至今,投影光学室副主任,研究员。
主要从事光电技术与精密仪器、纳米精度光学检测等方向的研究工作。曾参与负责并进行了国家自然科学基金、973、863等多项项目,现承担02国家科技重大专项项目,重点解决投影曝光光学系统参数在线高精度检测难题,突破了双光栅干涉像质检测、深紫外探测等关键技术,为光刻核心检测部件自主研制打下良好基础。
申请专利10余项,发表论文10余篇。
齐月静